Elektrone beam evaporation mokhoa ke mofuta oa vacuum e le mouoane barbotage, e leng o sebelisa libalaka elektrone ho futhumatsa ka ho toba lintho tse mouoane tlas'a maemo vacuum, mouoane lintho tse bonahalang e le mouoane le ho e isa substrate, le condense holim'a substrate ho etsa filimi tšesaane. Mochine o futhumatsang oa electron beam, ntho e futhumetseng e kenngoa ka har'a crucible e pholileng ea metsi, e ka qobang karabelo pakeng tsa lisebelisoa tsa mouoane le lerako la crucible le ho ama boleng ba filimi. Li-crucibles tse ngata li ka behoa ka har'a sesebelisoa ho fihlella mouoane ka nako e le 'ngoe kapa o arohaneng le ho beha lintho tse fapaneng. Ka elektrone beam evaporation, thepa efe kapa efe e ka fetoha mouoane.
Mouoane oa elektrone o ka fetoha mouoane oa lisebelisoa tse phahameng tse qhibilihang. Ha e bapisoa le mouoane ka kakaretso oa ho hanyetsa mocheso, e na le ts'ebetso e phahameng ea mocheso, boima bo phahameng ba mahlaseli a hona joale, le lebelo la ho moafala ka potlako. Filimi le filimi ea lisebelisoa tse fapaneng tsa optical joalo ka khalase ea conductive.
Tšobotsi ea ho fetoha mouoane ha elektronike ke hore e ke ke ea koahela kapa ka seoelo e koahela mahlakore a mabeli a sepheo sa sebopeho sa mahlakore a mararo, 'me hangata e beha feela holim'a sebaka se reretsoeng. Ena ke phapang lipakeng tsa elektrone beam evaporation le sputtering.
Elektrone beam evaporation e atisa ho sebelisoa tšimong ea lipatlisiso le indasteri ea semiconductor. Matla a elektrone a potlakisoang a sebelisoa ho otla sepheo sa thepa, e leng se etsang hore sepheo sa thepa se fetohe mouoane ebe se phahama. Qetellong e behiloe ho sepheo.
Nako ea poso: Dec-02-2022