Metal rotary target
Tlhaloso ea Sehlahisoa
Metal Rotary Target
Ho sebelisoa masimo a matla a khoheli le a motlakase pakeng tsa sepheo sa sputtering (cathode) le anode.'Me u tlatse khase e hlokahalang ea inert (hangata Ar gas) ka phaposing e phahameng ea vacuum.Tlas'a ts'ebetso ea sebaka sa motlakase, Ar gas e kenngoa ho li-ion le lielektrone tse ntle.Matla a itseng a phahameng a mpe a sebelisoa ho sepheo, lielektrone tse hlahisoang ke sepheo li angoa ke matla a khoheli, monyetla oa ionization oa ho eketseha ha khase e sebetsang, plasma e phahameng haholo e thehoa haufi le cathode, 'me Ar ions e ameha. ka matla a Lorentz.Ebe u potlakisa ho fofela sebakeng seo ho shebiloeng ho sona, 'me u phunyeletse sebaka seo u se rerileng ka lebelo le phahameng, e le hore liathomo tse hahelletsoeng ho sepheo li latele molao-motheo oa phetoho ea matla, li fofa ho tloha sebakeng seo u se batlang ho ea ho substrate,' me u behe filimi e phahameng ea kinetic ea matla.
E le ho ntlafatsa le ho feta tekanyo ea tšebeliso ea thepa e lebisitsoeng, ho etsoa cathode e potolohang e nang le ts'ebeliso e phahameng ea ts'ebeliso, 'me ho sebelisoa thepa ea sepheo sa li-tubular bakeng sa ho roala sputtering.Ntlafatso ea lisebelisoa tsa sputtering e hloka hore sepheo se fetoloe ho tloha ho sebopeho se bataletseng ho ea ho sebopeho sa tubular, 'me sekhahla sa tšebeliso ea sepheo sa ho pota-pota se ka ba holimo ho 70%, e leng se rarollang haholo bothata ba tšebeliso e tlaase ea sepheo se bataletseng.
| Lebitso la lihlahisoa | Metal rotary target |
| Lintho tse bonahalang | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Saese e rekisoang e chesang | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm E ka boela ea sebetsoa ho latela litlhoko tse khethehileng tsa bareki |
| MOQ | 3 likotoana |
| Sephutheloana | Ply lepolanka kesi |
Tlhokomeliso: Haholo-holo re hlahisa liphofu tse fapaneng tsa tšepe, ka kopo ikopanye le rona bakeng sa lintlha.
Kopo
Ho roala ka sputtering ke mofuta o mocha oa mokhoa oa ho roala mouoane oa 'mele.Ha ho bapisoa le mokhoa oa ho roala mouoane, e na le melemo e totobetseng
likarolong tse ngata.Ho 'nile ha sebelisoa litšepe tsa ho hlatsa ka tšepe likarolong tse ngata.Tšebeliso e ka sehloohong ea sepheo se potolohang.
■Lisele tsa letsatsi
■Khalase ea meralo
■Khalase ea likoloi
■Semiconductor
■TV ea sekirini se sephara, joalo-joalo
Lintlha tsa Odara
Lipotso le litaelo li lokela ho kenyelletsa lintlha tse latelang:
☑Tlhaloso ea sepheo sa ID×OD×L (mm).
☑Bongata bo hlokahalang.
☑Ka kopo ikopanye le rona bakeng sa litlhoko tse ling tse khethehileng.
